光譜反射(膜厚測量)

當透明薄膜沉積在表面上時，會影響其反射率。這個系統會量測樣本在可見光範圍內的反射光譜，並與軟體模擬出的理論光譜進行比對，調整薄膜的厚度，直到兩者吻合。

由於薄膜的厚度和光的波長相近，反射率會隨著波長產生類似波浪狀的變化，我們可以從整個光譜中觀察到這樣的干涉特徵。