干涉

白光干涉是一種納米級測量精度的用於測量各種表面高度形貌的技術，它的優勢在於任何放大倍數都可以保證奈米級的縱向分辨率。

相位差干涉是一種亞奈米級精度的量測，用於測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在於任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。