共聚焦

共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。

它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達0.09 µm。利用它可實現臨界尺寸的

測量。當用150X、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°

（粗糙表面達86°）。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重複性在奈米範疇。